ИССЛЕДОВАНИЕ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СЕНСОРОВ, ПРЕДНАЗНАЧЕННЫХ ДЛЯ РАБОТЫ В ЭКСТРЕМАЛЬНЫХ УСЛОВИЯХ
Аннотация. При измерении пульсаций давления в авиационной технике чувствительный элемент, соединительные каналы, полости корпуса и схема питания совместно влияют на результат. Разделение этих влияний необходимо при проектировании полупроводниковых сенсоров для экстремальных условий. Цель работы — при явно заданных допущениях рассчитать частотный отклик, локальную температурную компенсацию и распространение неопределённости, а также установить ограничения идентификации параметров по […]