Аннотация. Современные требования к технологиям и изделиям машиностроения, обуславливают необходимость создания новых технологических методов обработки материалов и разработки соответствующих технических средств. Перспективными являются экологически чистые вакуумные, ионные, лучевые и фотонные процессы получения материалов, нанесение различных покрытий, создание многослойных структур. Актуальной научно-технической проблемой является создание устройств и методов обработки материалов, вакуумных устройств получения композиционных материалов и формирования покрытий. Известно, что значимые параметры материалов определяются свойствами их поверхностных слоев, поэтому технология обработки поверхности, в том числе нанесение покрытий и создание сложных структур на их основе имеет большое значение. Перспективными в этом отношении являются вакуумно-термические и плазменные процессы обработки поверхности.

Ключевые слова: вакуумные покрытия, осаждение, испарение, конденсация, магнетронное распыление.