Аңдатпа. Технологиялар мен машина жасау өнімдеріне қойылатын заманауи талаптар материалдарды өңдеудің жаңа технологиялық әдістерін жасауды және тиісті техникалық құралдарды жасауды қажет етеді. Материалдарды алу, әртүрлі жабындарды қолдану, көп қабатты құрылымдарды құру үшін экологиялық таза вакуумдық, иондық, сәулелік және фотондық процестер перспективалы болып табылады. Материалдарды өңдеуге арналған құрылғылар мен әдістерді, композициялық материалдарды өндіруге және жабындарды қалыптастыруға арналған вакуумдық құрылғыларды жасау өзекті ғылыми-техникалық мәселе болып табылады. Материалдардың маңызды параметрлері олардың беткі қабаттарының қасиеттерімен анықталатыны белгілі, сондықтан жабындарды жағуды және олардың негізінде күрделі құрылымдарды жасауды қоса алғанда, бетті өңдеу технологиясының маңызы зор. Осыған байланысты бетті вакуумдық-термиялық және плазмалық өңдеу процестерінің болашағы зор.

Түйін сөздер: вакуумдық жабындар, тұндыру, булану, конденсация, магнетрондардың шашырауы.