Аңдатпа. Қысым пульсацияларын авиациялық техникада өлшеу кезінде сезгіш элемент, жалғаушы арналар, корпус қуыстары және қоректендіру схемасы нәтижеге бірлесіп әсер етеді. Олардың үлестерін ажырату экстремалды жағдайларға арналған жартылай өткізгіш сенсорларды жобалау үшін қажет. Жұмыстың мақсаты — айқын берілген жорамалдар негізінде жиіліктік жауапты, жергілікті температуралық өтемдеуді және белгісіздіктің таралуын есептеу, сондай-ақ қолда бар сипаттамалар бойынша параметрлерді анықтаудың шектеулерін көрсету. Жұқа пластина теңдеуі, екінші ретті динамикалық буындар, тұтқырлық пен жылулық шығындары бар түтіктердің ауысу матрицалары және аддитивті децибелдік белгісіздік моделі қолданылды. Есептеулер шектік жағдайлармен, тәуелсіз сандық өрнектермен және Монте-Карло әдісімен тексерілді. Бір ғана жолақ шекарасы меншікті жиілік пен демпфирлеуді бірге анықтамайтыны көрсетілді. 65 кГц есептік жолақ және 0,01–0,10 демпфирлеу аралығы қабылданғанда ғана меншікті жиіліктің шамамен 195 кГц төменгі бағасы алынады. Мойын диаметрі 0,8 мм, ұзындығы 1 мм және қуыс көлемі 1 мм³ болатын сценарийде толық каскад 25,728 кГц акустикалық шың мен 7,981 кГц жолақ береді. Ұзындығы 20 мм, радиусы 0,40 мм зонд қосылғанда сол тізбектің жолағы 0,981 кГц болады. Қуыстың жылулық шығыны мен мембрананың кері акустикалық жүктемесі бұл есепке кірмейді. Қабылданған температуралық коэффициенттер және 6 В қорек кезінде шектелген топология қажетті жергілікті өтемдеудің 13,846 пайызын қамтамасыз етеді; басқа коэффициентте бірінші туындының нөлге тең болуы толық диапазондағы тұрақтылықты дәлелдемейді. Екі шартты бюджет үшін қамту коэффициенті екіге тең кеңейтілген белгісіздік 2,491 және 0,980 дБ, ал 95 пайыздық қамту аралығының жарты ені 2,214 және 0,950 дБ болды. Нәтижелер жаңа эксперименттік валидация немесе нақты аспаптың расталған дәлдігі ретінде ұсынылмайды. Жұмыс модель жорамалдарын тексеруге және кейінгі өлшеу хаттамасын құруға негіз береді.
Түйін сөздер: пьезорезистивті сенсор, жиіліктік жауап, қуыс резонансы, акустикалық зонд, параметрлерді анықтау, температуралық өтемдеу, өлшеу белгісіздігі, сандық верификация.