Аңдатпа. Бұл жұмыста инерциялық өлшеу жүйелерінің датчиктерінің негізгі түрлерінің бірі ретінде миниатюралық гироскоптар мен акселерометрлердің ерекшеліктері, түрлері және құрылыс принциптері талданады. Сондай-ақ магнитометрлер мен GPS модульдерін инерциялық есептеу жүйелеріне біріктіру мүмкіндіктері мен перспективаларына талдау жүргізілуде, бұл өлшеу жүйесінің өнімділігін айтарлықтай жақсартады. MEMS акселерометрлерінің, гироскоптарының, магнитометрлерінің және олардың біріктірілген модульдерінің физикалық принциптері мен математикалық үлгілері ұсынылған, бұл ұшақтар үшін жоғары дәлдікпен миниатюралық магниттік айдар мен қатынас өлшегіштерін құруға мүмкіндік береді. Акселерометрі мен гироскопы бар типтік MEMS моделі қарастырылды, мұндай MEMS сенсорлық жүйесінің математикалық моделі және Matlab/Simulink моделі келтірілген, бұл MEMS датчиктерінің қатынасы мен барысын өлшеуге арналған жүйенің нақты моделін құруға мүмкіндік береді. ұшақ.

Түйін сөздер: MEMS сенсорлары, акселерометрлер, гироскоптар, магнитометр, инерциялық есептеу жүйелері, математикалық модель, қатынас, Simulink моделі.